LTS-20℃~80℃

广泛运用在半导体制程中对反应腔室控温、热沉板控温及需要传热介质不可燃流体控温场所。

• 1、介质循环系统保压测试7bar。
  2、采用高品质磁力泵，没有机械轴封。
  3、优化温度采样及响应速度，专门设计控制算法，能快速响应到控温稳定。
  4、增强循环泵能力设计，满足系统高扬程需求。
  5、持续高温降温技术，满足在热沉板加载热量，需要冷热恒温控制时稳定运行。
  6、针对氟化液易挥发特点，加强了接头设计、系统密封设计，确保介质使用寿命。